일반기술
UV lamp를 이용한 다결정 실리콘 박막제조 방법
본 기술은 비정질 규소를 저온에서 결정하기 위한 새로운 방법을 제시한다. 규소박막 결정화 조직의 조대화를 위해서는 박막의 결정핵크기를 조절하는 것이 중요하며 이로부터 결정성장을 유도하는 것이 핵심이다본 기술은 silicon on insulator(SOI) 기술에서 응용되어 왔으나 기판의 온도가 매우 높아서 온도에 민감한 박막에는 응용하기에 매우 어렵다. 따라서 마스크와 반사판을 응용하여 저온 결정화가 가능하도록 제안하는 기술이다
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 열처리 기술
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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