일반기술

반도체장비용 오링의 내구성 및 기밀성 시험장치

본 기술은 반도체 장비용 핵심부품인 O-ring의 종합성능시험을 위한 내구성 및 기밀성 시험의 전자동 장비개발에 대한 기술이다. (1) 내구성 시험 기술로는 AC 변속모터 및 가변 Stroke LM 설계기술, Ar 등 유해가스 주입 MFC 기술, 오일확산 펌프 이용 고진공 Pumping 및 RGA센서를 이용한 진공도별 Particle 측정기술, 사각형 진공 chamber기술, Halogen Heater를 이용한 온도제어기술, 정밀전자저울을 이용한 마모지수 측정기술이 있으며, (2) 기밀성 시험 기술로는 He가스 주입장치 및 터보 분자 펌프 이용 고진공 Pumping 기술, RGA 센서 이용 Leakage 측정기술, Band Heater를 이용한 온도제어기술이 있다.본 기술에 대한 특징은 세부적으로 다음과 같다. (1) 내구성 시험기술 - 1800rpm AC 변속모터 및 가변 Stroke LM기구 - 유해가스 주입 MFC 기술 - Halogen Heater 이용 온도제어기술 - 오일확산펌프 이용 고진공 Pumping 및 Particle 측정기술 (2) 기밀성 시험기술 - He 가스 주입장치 및 터보 분자펌프 이용 고진공 Pumping 기술 - Band Heater 이용 온도제어기술 - RGA 센서이용 Leakage 측정기술한편, 반도체 장비인 CVD, PVD, Etcher등의 Process chamber의 고정용 Seal로 사용되는 Kalretz O-ring 및 Viton O-ring의 생산을 주로 외국에 의존하고 있고, 국내에서 1,2개사가 외국의 배합데이타, 가황조건 및 원재료 고무를 생산하여 외국에 의뢰하여 내구성 및 기밀성 시험을 수행하고 있는 실정이다.