일반기술

정전방식으로 두축 구동하는 미소거울

본 기술은 다섯층으로 이루어지고 두축으로 정전구동하는 미소거울 구조체에 대한 것이다.새로운 구조의 미소 거울 구조체와 도금 공정을 이용해 구조체를 만든다.

기술정보

정보 없음