일반기술
VCM을 이용한 X-Y정밀구동 스테이지 장치
본 기술은 마이크로스코프 등에서 사용되는 시편이송기구에 관련된 2축 운동을 갖는 XY스테이지에 관한 것으로, 직선 스프링과 주이송부, 보조이송부, 구동부를 대칭적이며, 단순하게 배열을 하여 배열된 스테이지부를 2중으로 적층을 하여 열적 안정성과 운동의 선형성 및 안정성 또한, 2축의 운동을 가능하게 함으로써 시편의 2축 위치결정을 정밀하게 제어한다.대칭인 구조, VCM을 이용한 구동, 측정기의 시편이동에 적합하고, 약 1㎝～10㎚의 긴 영역을 처짐이 없이 안정하게 움직일 수 있는 스테이지의 구현가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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