일반기술
회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서
수십 나노미터 변위 분해능과 수 밀리미터에 달하는 측정 영역으로 인해 널리 쓰이는 광 삼각법 변위 센서의 분해능 향상을 위한 구조 및 신호 처리 체계에 관한 것이다. 수광 소자와 결상 렌즈 사이에 투과형 회절 격자를 삽입하여 결상 렌즈를 통과한 빛을 여러 가닥으로 복제함으로써 단일 샘플링 타임 내에 수광 소자 위에 다수의 광 강도 분포를 복제한다. 그 후 각 광 강도 분포를 추출하여 산술 평균함으로써 기존의 방법과 비교하여 간단한 구조로 분해능 향상이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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