일반기술
외팔보를 이용한 마이크로 미터 디바이스
마이크로미러를 적은 전압으로 큰 구동력을 얻을 수 있도록 한 다양한 외팔보 및 스프링의 구조와 배치 및 이를 이용한 마이크로미러 디바이스에 관한 기술이다.적은 전압으로 큰 구동력을 실현할 수 있는 다양한 외팔보와 스프링의 구조 및 배치를 이용한 미러의 회전 구동, 그러한 구조를 이용한 마이크로 미러 디바이스이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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