일반기술
측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서 제조 방법
측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서의 제조에 관한 것이다. 전계 방출을 위한 전극 간격은 화학적-기계적-연마 방식을 이용하여 매우 가까우면서 균일하게 형성한다.기존의 전계 방출을 이용하는 1-축 가속도 센서에 비해 2-축을 하나의 센서로 측정 가능하고 또한 터널링 전극 간격 조정을 위한 고전압이 필요없이 화학적-기계적-연마 방법으로 아주 간단하게 형성 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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