일반기술
하부 결정방향 선택 식각을 이용한 소자의 기생 캐패시턴스 감소방법
하부 결정방향 선택 식각을 이용하여 소자의 기생 캐패시턴스를 감소시키고 베이스-컬렉터 메탈을 에미터에 대해 자기정렬이 가능하게 증착 할 수 있다.파워특성과 초고주파 특성이 좋은 DHBT(Double Heterojunction Bipolar Transistor) 소자를 간단한 격자방향 선택적 습식 식각을 이용해 만들 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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