일반기술
아민 부가 단량체 단일 선구물질을 이용한 질화물 박막의 제조법
본 기술에서는 증기압이 우수한 아민 부가 단량체 단일선구물질을 사용하여 값싼 규소 기질위에13 족 질화물 박막을 증착하였다. 또한질화물 박막의 성막이 낮은 온도에서 간단한 공정으로 구현되었으며 여러 가지 특성화 방법에 의해 적층 성장된 질화물 박막임을 알 수 있었다.본 기술은 기존의 청색 발광 소자나 청색 레이저 다이오드의 제조 방법에 적용되지 않은 방법으로 우수한 단일 선구물질을 이용하여 간단한 공정으로 적층 성장한 질화물 박막을 제조할 수 있는 획기적인 기술이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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