일반기술

도포된 이방성 전도 접착제를 이용한 웨이퍼 차원의 플립 칩 패키지 제조 방법

웨이퍼 차원에서 금, 무전해 니켈 등 비솔더 범프를 형성하고 이방성 전도성 접착제를 웨이퍼 전체에 도포한 후 다이싱하여 개별 플립 칩 패키지로 사용하여 기판 위에 이방성 전도 접착제를 사용하여 접속한다. 이 때 이방성 전도성 필름을 이용한 칩 접속 공정과 같이 열과 압력을 동시에 가한다.·비솔더 플립 칩 범프를 웨이퍼에 형성·이방성 전도성 접착제를 웨이퍼에 도포한 웨이퍼 차원 공정·ACA 접속을 이용한 웨이퍼 차원 플립 칩 패키지 제조·최소의 플립칩 공정, 최저가격의 플립 칩 패키지 방법

기술정보

기술분류
화학공정 > 기타 화학공정
보유기관
한국과학기술원
기술유형
일반기술
등록일
2004-12-10
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

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