일반기술
알루미늄 화합물 분위기를 이용한 다결정 규소 박막의 제조
비정질 규소 박막을 알루미늄 화합물 분위기에서 열처리함으로써 알루미늄 성분의 영향으로 저온에서 다결정 규소 박막을 제조할 수 있다.비정질 규소 박막을 금속 화합물과 같이 열처리하는 새로운 방법으로 다결정 규소 박막 제조의 공정을 단순화하였고, 알루미늄을 사용하여 불순물 영향을 줄였다.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 화학
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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