일반기술
박막형 재료의 압전 특성 평가시스템
기판 상에 존재하는 압전재료의 특성 평가 장치로써 기판 위에 형성된 박형의 압전재료에 정확하고 균일한 기계적에너지를 효과적으로 인가하여 종방향 압전계수,d33와 횡방향 압전계수, d31을 동시에 측정할 수 있도록하는 장치이다.Step 1을 위한 compressor와 Step 2를 위한 vacuun pump를 동시에 구비하여 양압과 음압의 기계적에너지를 압전박막에 효과적으로 전달하고 종방향 압전계수,d33와 횡방향 압전계수, d31을 동시에 측정할 수 있도록한다.
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 정보
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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