일반기술
엇물린 외팔보를 이용한 마이크로 미터 디바이스 및 그 응용소자
본 기술은 정전기력에 의해 미러를 회전 구동하여 입사되는 빛을 반사시키는 각도를 조절하여 빛의 진행 경로를 바꾸는 마이크로미러 디바이스이다. 기판과 기판 위에 위치한 복수의 지지대, 미러 아래면에 붙은 역시 복수의 지지대가 얇은 금속지지판에 의해 엇물린 형태로 연결되는 2단 구조를 이루며 미러를 지지하여 양방향으로 회전을 가능하게 되고 매우 안정하게 미러를 지지하고 구동할 수 있다. 입사되는 빛을 반사시키는 미러와 기판 위에 놓인 전극 사이의 전압 차에 의한 정전기력과 복수의 지지대 사이에 연결된 수평 지지판의 탄성 복원력에 의해 미러를 양방향으로 회전하게 구동할 수 있으며 회전 각도를 조절할 수 있다. 지지대가 매우 간단한 구조를 이루며 엇물린 구조에 의해 미러가 두 개의 안정된 구동 상태를 가지는 것을 그 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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