일반기술
화학적-기계적-연마 방법을 이용한 측면형 전계 방출 소자 제조 방법
화학적-기계적-연마 방식을 이용하는 측면형 전계 방출 소자 제조에 관한 것이다. 탐침 간의 간격이 산화막 두께에 의해 결정 되기 때문에 매우 짧다. 그래서 저전압 구동이 가능하며 간격이 산화막 두께에 의해 결정되기 때문에 매우 균일하고 재현성을 가진다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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