일반기술

화학 기계적 연마를 이용한 미세간격 형성방법 및 측면형 전계방출소자 제조방법

화학적-기계적-연마 방식을 이용하는 미세 간격 제조에 관한 것이다. 매우 짧은 간격의 형성이 매우 용이 하고 또한 산화막 두께에 의해 결정 되기 때문에 매우 균일하다.

기술정보

정보 없음