일반기술
플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의결정화 방법
본 기술은 박막형태의 리리튬박막전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막의 결정성 향상방법에 관한 것으로 마이크로파(Microwave:2.45GHz) 혹은 라디오 주파수파(Radio frequency wave:13.56MHz)에 의해 유기된 산소 혹은 아르곤 플라즈마에 리튬전이금속 산화물 박막을 반응시킴으로써 결정성과 전기화학적 특성이 우수한 리튬전이금속 산화물 박막을 얻는 방법에 관한 것이다.현재 쓰이는 노 열처리법(800oC, 수∼수십 시간)보다 저온(400oC 이하) 공정으로 단시간(20분 이내) 내에 리튬전이금속 산화물 박막의 결정성과 전기화학적 특성을 동시에 크게 향상시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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