일반기술
액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법
본 기술은 웨이퍼 상 또는 제조하고자 하는 샘플 수만큼 구멍이 뚫려 있는 반응기 내에 다양한 조성을 지닌 박막 및 분말 어레이를 제조하기 위하여 일 축 방향으로 구동되어지는 가리개가 장착된 액적화학증착 등의 습식증착공정에 관한 것이다.금속전구체 용액에 고주파를 가하여 발생하는 액적이 마스크로 미리 지정되어 있는 영역에 증착할 때 한 축 방향으로 구동되는 가리개를 통하여 다양한 조성을 지닌 박막 및 분말 어레이 제작이 가능하다. 또한 증착 및 제조시 액체간의 혼합을 통해 균일한 상을 지닌 샘플 제조가 용이하다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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