일반기술
강자성체 금속/부도체 세라믹스의 다층막형태의 증착을 통한 새로운 과립박막의 미세구조에 대한 발명
강자성체 금속/부도체 세라믹스 다층막 형태의 증착을 통하여 미세구조 제어 가능한 과립박막을 제조하여 안정적이고 재현성있는 자기저항 효과를 나타낼 수 있는 새로운 미세구조를 기술하였다. 각 층의 두께 변화를 통하여 입자크기 조절이 가능한 과립박막을 제조한다. 이러한 미세구조의 박막의 경우 기존의 자기저항재료들에 비해 매우 우수한 물성을 나타낸다. 따라서 새로운 미세구조 기술에 대한 기술을 내용으로 한다.진공증착시 각층의 두께 조절을 통하여 입자크기가 조절가능한 과립박막의 미세구조를 제어함으로써 우수한 물성을 나타내는 새로운 미세구조를 개발하였다. 상대적인 층두께의 변화로 유기된 미세구조를 통하여 안정적이고 재현성 있는 자기저항효과를 나타내었으며 기존의 재료들에 비해 높은 자기 감지도를 나타내었다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 세라믹재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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