일반기술
발열장치 제조방법 및 열분사방식 잉크젯 프린트 헤드 제조방법
에피탁시/이온 주입법과 다공질화 반응을 이용하여 형성한 단결정 실리콘 island를 열 분사 방식 잉크젯 프린트헤드의 발열 저항으로 이용하는 것이다.정확한 불순물의 농도의 조정이 가능하므로 정확한 저항값을 가질 수가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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