일반기술
이중접합 에스아이엘(DSIL )과 이를 이용한 근접장 광학시스템
OL과 SIL이 분리되어 구성되어 있는 근접장 광학 시스템의 광학 헤드부를 하나의 Module로 일체화 시켜 구성한 새로운 형태의 근접장 광학 시스템에 관한 기술이다.기존의 광학시스템들의 성능을 유지하면서 광학적 정렬 및 조립이 매우 용이해졌다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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