일반기술
음향광학변조필터를 이용한 형광분광 분석기
본 기술은 음향광학변조필터의 파장주사 방식을 적용하여 형상 시료 위에 도포된 투명박막의 두께 형상 정보를 얻는다.본 기술은 3차원적인 두께 형상을 측정함에 있어서 AOTF에 기반한 파장 주사방식을 이용하여 구동 부분을 제거한 안정적인 시스템을 구현하였다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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