일반기술
유기금속을 함유하고 있는 노르보넨 단량체 및 이들의 고분자 중합체를함유하는 포토레지스트
본 기술은 신규한 유기금속을 함유하는 노르보넨 단량체 및 이들의 고분자 중합체를 함유하고 있는 건식현상이 가능한 화학증폭형 포토레지스트에 관한 것으로 이러한 물질은 이층 포토레지스트의 위층이나 단층 레지스트로 사용이 가능하다.본 기술은 기존에 제시된 물질을 변형 또는 개선하는 수준을 넘어서 종래의 습식현상형 포토레지스트의 한계성을 극복할 수 있는 새로운 개념의 레지스트라고 할 수 있으며, 실제 공정적용 시 가스만 바꾸어 연속적으로 공정을 진행시킬 수 있어 공정이 단순하고 공해물질도 줄일 수 있으며 경제적인 이익도 크다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 고분자재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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