일반기술
미세결정 실리콘 박막 형성방법 및 이를 이용한 박막형 실리콘 태양전지 제조방법
임의의 가판위에 수Å두께에서 수십Å두께의 금속 또는 금속산화물을 입힌 뒤에 그 위에 미세결정 실리콘 박막을 성장시키는 방법으로 열처리를 포함하는 결정화공정없이 박막성장의 초기부터 결정화된 실리콘 박막을 얻을 수 있다. 또한 상기의 방법에 의해 성장시킨 진성형, 도핑된 미세결정 실리콘 박막을 가지는 반도체 전자 소자를 포함한다.현재 사용되고 있는 고상결정화법을 사용하지 않고 박막의 증착시 바로 결정화된 박막을 성장시킬 수 있는 기술이다.
기술정보
- 기술분류
- 에너지·자원 > 기타 에너지·자원
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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