일반기술
레이저의 다중반사를 이용한 국부적인 접합방법
본 기술은 상부 기판에 금속층이 형성된 V형 또는 사각형 그루브(groove)를 가공하고, 그루브에 레이저를 가하여 상부 기판과 하부 기판을 접합하는 방법에 관한 것으로서, 특히 레이저빔이 그루브 벽면에 여러 번 반사하는 다중반사(multiple reflection) 현상을 이용하여 그루브 하단의 온도를 증가시켜 국부적인 접합부를 형성하는 광원의 다중반사를 이용한 접합 방법에 관한 것이다.제안한 방법은 다중반사에 의해 레이저 빔을 홈의 내부에 집중시키기 때문에 국부적인 열을 가할 수 있으며, 자동화가 용이하고 생산성이 높은 장점이 있다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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