일반기술

다결정 실리콘 박막 제조방법

압연 후 열처리되어 거의 니켈 단결정 된 니켈 tape를 비정질 실리콘을 결정화하는데 이용하였다.일반적으로 니켈 실리사이드에 의해 결정화가 유도된 경우 다결정 실리콘 박막인데 반하여, 이 tape를 이용하면 각 실리콘 grain의 크기가 크고 방향이 모두 같은 다결정 박막을 형성한다. 왜냐하면, 이 tape에 의해 니켈 실리사이드가 epitaxial growth 하고 이 니켈 실리사이드에 의해 결정화가 진행되기 때문이다. 그리하여, 이 니켈 tape를 기판으로 사용하거나, 패턴이 형성된 니켈 tape를 기계적으로 접촉함으로써 결정화 영역과 결정화된 실리콘의 결정방향을 제어할 수 있다. 특히, 니켈 tape를 기계적으로 접촉시켜 결정화시키는 경우에 유리 기판 위에 제작된 비정질 실리콘을 결정화시키고자 하는 위치와 결정방향을 제어하여 결정화시킨다.본 기술은 비정질 실리콘 박막의 결정화에 있어서 압연 후 열처리된 니켈 tape를 적용함으로써, 다결정 실리콘 박막안에 grain들의 위치와 결정방향을 제어 하는데 큰 특징이 있다. 또한, 본 기술은 종전에 불가능하게 여겨지던 유리 기판위에 단결정 실리콘 박막의 제작을 가능성을 증명했다는 큰 장점이 있다.