일반기술
나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴 방법
본 기술은 유기분자의 자기조립 현상을 이용하여 10 나노미터이하 수준의 규칙적인 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.유기분자의 자기조립 및 금속의 화학흡착을 이용하여 공정이 비교적 단순하며 패턴의 사이즈가 매우 작다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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