일반기술
나노결정을 이용한 비휘발성 소자 형성방법
본 기술은 그레인 경계에서 식각비와 산화비가 증가하는 현상을 이용하여 고속 저전력소자에 이용되는 비휘발성 기억소자를 형성하는 방법에 관한 것으로서, 원하는 크기의 나노결정을 아주 균일하고 재현성이 높게 고밀도로 형성하기 위한 방법에 관한 것이다.원하는 크기의 나노결정을 아주 균일하고 재현성이 높게 고밀도로 형성할수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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