일반기술
금속 실리사이드/금속 질화물 이중층으로 코팅한 실리콘 팁 제조
FED(Field Emission Display)에서 사용되는 여러 전자 방출 팁 재료 중 실리콘 팁의 전계 방출 특성을 향상시키고자 금속 실리사이드와 금속 질화물의 장점을 이용하여 이들 이중층으로 팁을 코팅하여 금속 실리사이드 단일층만을 사용 하였을 때 보다 향상된 방출 특성을 얻고자 하였다. 실리콘 팁 코팅 물질로 금속실리사이드와 금속 질화물 이중층을 도입하여 각 물질의 단일층 만을 사용한 경우에 비해 전계 방출 특성을 향상시키고자 한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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