일반기술
규소 박막의 제조 방법
본 기술에서는 유리 또는 석영 기판을 가열하기 위해 히터에 의한 가열을 이용한다. 즉, 기판 및 규소 박막을 히터에 의해 가열한 상태에서 마이크로파를 가하여 비정질 규소 박막을 열처리하게 된다. 따라서 기판도 가열된 상태에서 마이크로파를 가하므로 기판으로의 열 손실을 줄일 수 있어 규소 박막을 결정화에 충분한 온도로 가열할 수 있다. 따라서 유리 또는 석영 기판 위에 입혀진 비정질 규소 박막도 마이크로파를 이용하여 낮은 온도에서 열처리하여 다결정 규소 박막을 제조할 수 있다.기존의 방법에서 제안하고 있는 버퍼층 없이도 다결정 규소 박막 제조가 가능해 경제적일 뿐 아니라 실제 소자에 응용하기에 더욱 적합한 방법이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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