일반기술
고차 조화파 엑스선 발생장치 및 방법 그리고 고차 조화파 엑스선을 이용한 바늘구멍 에돌이 간섭계
본 기술은 결맞음성이 우수한 고차조화파 엑스선 광원을 이용하여 극자외선 리소그라피용 광학계의 표면품질을 검사할 수 있는 위상파면 측정 엑스선 간섭계이다.결맞는 극자외선 광원으로써 고차조화파를 이용하였고 고출력 펨토초 레이저 드릴링 기술을 이용하여 장치를 단순화 시켰다.
기술정보
- 기술분류
- 원자력 > 기타 방사선방호·이용 기술
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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