일반기술
2층 구조를 갖는 YMnO3 박막 및 2층 구조의 YMnO3박막형성방법
Si 기판 위의 YMnO3 강유전 박막 구조는 크게 c-축 배향구조, 또는 다결정 구조를 가진다. 그러나 c-축 배향구조는 높은 누설전류가 문제이며, 다결정 구조는 낮은 memory window 특성이 문제가 되어 왔다. 본 기술에서는 비정질 YMnO3 박막을 증착 후 이를 급속 열처리 단계를 수행하여 c-축배향 구조와 다결정구조의 장점을 모두 갖춘 2층 구조 (c-축배향/다결정 구조) YMnO3 박막을 구현하였다.부수적인 장비의 설치나 복잡한 공정 없이 비정질 YMnO3 박막의 급속 열처리를 통한 2층 구조 (c-축배향/다결정 구조) YMnO3 박막을 형성한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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