일반기술
금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조
본 기술은 비정질 규소 박막에 점도가 높은 금속 용액을 이용하여 금속 성분을 흡착시킨 후 열처리함으로써 저온에서 대면적의 다결정 규소 박막을 경제적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 기존의 방법은 금속 또는 금속화합물을 희석된 산에 녹여 금속용액을 제조한 후 이를 규소 박막에 스핀코팅하여 금속 성분을 흡착시킨다. 이 경우 금속용액은 규소 박막에 존재하지 않거나 제어 불가능한 작은 물방울 형태로 존재한다. 새로운 형태의 금속용액을 제조하여 이를 단순한 공정을 통하여 다결정 규소 박막 제조에 응용함으로써 기존의 공정의 문제점을 해결하였다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 열처리 기술
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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