일반기술
대면적 증착 방법 및 그 증착 시스템
ICBD 혹은 MBE와 같은 물리적 방법을 이용한 물질 증착 방법에 있어서, 대면적 증착 방법 및 그 시스템에 관련된 것이다. 증착물질을 담은 소스를 2차원을 이루는 서로 직교하는 두 개의 좌표축 상에서 임의로 이동하면서 소스와 일정거리 떨어져 설치된 기판 위에 박막을 증착하는 대면적 증착방법임대면적 증착이 가능하도록 소스를 2차원 평면상에서 이동시킬 수 있는 구동 수단을 포함하는 것이 특징임.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 박막 제조 기술 (B62, H64)
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-12-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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