일반기술

엑시머레이저 응용 폴리머 가공기술

248nm의 파장을 가진 KrF 엑시머 레이저에 의해 폴리머 재료에 마이크론 단위의 선, 구멍 등 다양한 패턴을 제조하는 기술로, 레이저 특성, 빔 전송 광학계, 모션 및 인터페이스, 가공 공정 등이 주요 기술이다.폴리머에 다양한 미세패턴을 손쉽게 만들 수 있으며 다른 공정에 비해 복잡하지 않아 적용 분야는 다양할 것으로 예상 된다.248nm의 파장을 가진 KrF 엑시머 레이저에 의해 폴리머 재료에 마이크론 단위의 선, 구멍 등 다양한 패턴을 제조하는 기술로, 레이저 특성, 빔 전송 광학계, 모션 및 인터페이스, 가공 공정 등이 주요 기술이다폴리머에 다양한 미세패턴을 손쉽게 만들 수 있으며 다른 공정에 비해 복잡하지 않아 적용 분야는 다양할 것으로 예상 된다.- 248nm의 파장은 광자 에너지가 높으므로 폴리머의 분자 고리를 끊는데 매우 유리하다. 이 빔을 재료까지 전달하고 가공시 일어나는 현상을 분석, 최적의 형태로 가공품의 완성도를 높이는데 있다- 이미지를 전사하는 공정을 이용하며 이미지의 모션을 이용하여 준 3차원 형태의 가공도 가능하다. 248nm의 파장은 광자 에너지가 높으므로 폴리머의 분자 고리를 끊는데 매우 유리하다. 이 빔을 재료까지 전달하고 가공시 일어나는 현상을 분석, 최적의 형태로 가공품의 완성도를 높이는데 있다- 이미지를 전사하는 공정을 이용하며 이미지의 모션을 이용하여 준 3차원 형태의 가공도 가능하다.