일반기술

2축 피에조 구동형 초정밀 병렬 스테이지

나노미터의 분해능을 갖는 초정밀 스테이지는 주로 피에조에 의해 구동을 하며 플레셔 메커니즘 (flexure mechanism)에 의해 운동을 안내한다. 기존의 플렉셔를 이용한 2축 병렬형 안내기구는 4개의 L자형 플렉셔를 갖는 구조를 이용했으나, 이러한 메커니즘은 회전운동의 가능성이 매우 크기 때문에 회전운동을 제한하기 위한 또다른 메커니즘이나 구동방법을 요한다. 본 기술은 플렉셔구조의 4쌍의 복합선형스프링과 4쌍의 선형스프링을 조합하여 회전운동이 제한된 2축 병렬형 안내기구를 제안하고, 2개의 피에조를 이용하여 2축 병렬형 안내기구를 구동하는 방식의 스테이지를 제안하였다. 제안된 스테이지는 수 나노미터 분해능과 수십 마이크로미터의 구동영역을 갖는다.- 피에조에 의한 구동- 플렉셔에 의한 4쌍의 복합선형스프링과 4쌍의 선형스프링을 이용한 2축 병렬형 안내기구- 기구적으로 회전운동 제한- 플렉셔에 의한 병진안내기구 방식의 센서 영점위치 조절기구- 수 nm 분해능과 수십 um의 구동영역나노가공, 측정 및 바이오 조작 분야를 실현시킬 수 있는 도구로서 나노구동용 스테이지가 필수적이다. 따라서 이러한 분야의 발전과 더불어 사업성도 함께 성장하는 추세이다.응용가능분야 : 반도체 공정용 스테이지, 나노 가공장비의 스테이지, AFM용 스테이지