일반기술

미소 유량계

수체, 유체를 이용하는 시스템이나 부품을 개발하는 과정에 있어서 그 성능에 중요한 인자로 작용하는 미소누설유량을 측정하는 기구에 관한 것으로, 베인형 용적펌프와 스테핑모터가 직렬로 장착되고, 압력센서가 베인형 용적펌프에 내장되며 데이터변환장치에 의하여 누설되는 미소유량을 측정하는 것으로, 베인형 용적펌프에 누설유량으로 인하여 압력이 발생하면 데이터변환장치에서 검출하여 스테핑모터를 회전시키고, 직렬로 결합된 베인형 용적펌프가 회전하여 정해진 유량이 측정되는 구조로 이루어져 있으며, 분당 누설량이 매우 적어서 일반적인 유량계로는 측정이 매우 어려운 경우에 사용되는 유량계이며, 밸브, 실린더, 펌프/모터 등의 미소유량을 자동으로 측정하는 기구로 산업계에 이용분야가 매우 넓은 미소유량계 저속마찰특성의 불안정성을 보완하는 방법으로 누설유량을 강제적으로 일정체적내에 채워 둔 후 외력을 작용시켜 체적내의 유량을 탱크로 내보내는 기구를 갖추며, 장시간 연속적인 측정이 가능하도록 직선운동이 아닌 회전운동에 의하여 누설유량을 계측할 수 있도록 하며, 특히 동적인 누설유량을 정확히 계측해 낼 수 있도록 베인형 용적펌프의 베인 수만을 가변시킬 수 있도록 하여 재현성 있고 객관적인 데이터 확보가 가능한 미소유량계(응용범위)분당 누설량이 매우 적어서 일반적인 유량계로는 측정이 매우 어려운 경우에 사용되는 유량계로 밸브, 실린더, 펌프/모터 등의 미소유량을 자동으로 측정 뷴야(사업성)장시간 사용 가능 및 객관적인 데이터 확보가능으로 일반 산업계 뿐만 아니라 MEMS 분야에 있어서도 매우 중요한 계측기로서 사업성이 높음.