일반기술

직선운동베어링을 이용한 이송테이블의 운동정밀도 향상기술

직선운동(LM)베어링은 설치가 용이하므로 대부분의 이송시스템에 가장 보편적으로 사용되고 있다. 그러나, 그 운동정밀도는 제작사에서 정ㄴ 급수에 의해 결정나며, 실제 조립시에는 기준면의 가공정밀도가 영향을 미치므로 수 μm의 운동정밀도를 얻기는 쉽지않다.본 기술은 LM베어링을 이용한 이송테이블의 운동정밀도를 측정하고 그를 이용하여 운동정밀도를 향상시킬 수 있는 수정조립(또는 가공)정보를 계산, 수정함으로써 운동정밀도를 향상시킬 수 있는 기술임(기술응용범위) LM베어링을 사용하는 모든 고정밀장비(공작기계, 반도체, Diplay, 광부품용 장비 등)(사업성)- LM베어링을 이용하여 1 μm/300mm이상의 고정밀도 실현이 가능하므로 저cost로 제작 설비의 성능을 극대화할 수 있음.-측정이 상대적으로 용이한 운동정밀도를 측정하여 그로부터 레일의 조립정밀도를 추정하고, 목표정밀도를 얻기위한 수정부위와 수정량을 계산해낼 수 있는 software로 구성되어 있음.- 정밀급 이상의 LM베어링을 사용할 경우, 1 μm/300mm이상의 운동정밀도를 기대할 수 있음 - 수평방향의 경우에는 재가공없이 수정조립으로만 가능하며, 수직방향의 경우 부분적인 래핑으로 정미향상이 가능함.(사업성)- LM베어링을 이용하여 1 μm/300mm이상의 고정밀도 실현이 가능하므로 저cost로 제작 설비의 성능을 극대화할 수 있음.