일반기술

열플라즈마를 이용한 질화알루미늄 초미립자의 제조방법

본 발명은 열프라즈마를 이용하여 값이 싼 알루미늄 덩어리로부터 질화알루미늄을 제조함으로써 입경이 미세한 질화알루미늄 초미립자를 효율적으로 제조하기 위함이다. 본 발명은 현재 일반적으로 응용되고 있는 질화알루미늄의 제조공정에서 직접 질화법 및 탄소환원질화법을 보완하기 위해 플라즈마를 이용하여 알루미늄 덩어리를 증발시키고 증발된 알루미늄을 질소 또는 암모니아 가스와 반응시켜서 질화알루미늄 초미립자를 제조함으로써 입경이 미세한 질화알루미늄 초미립자를 효율적으로 제조할 수 있다.본 발명은 아르곤 및 질소의 혼합 가스를 알루미늄 발생가스로 하여 발생시킨 플라즈마 제트를 이용해 알루미늄 덩어리를 증발시키고, 반응가스로서 질소 또는 암모니아 가스를 저온 영역인 플라즈마 외부 영역으로 주입시켜 증발된 알루미늄을 반응시킴으로서 질화알루미늄 초미립자를 제조하는 것이 특징이다. 또한 반응가스인 암모니아 가스를 플라즈마 제트 노즐로 부터 50mm 이상의 위치로 주입시켜 반응시키는 것과, 암모니아 가스의 유량이 분당 1.5리터 이상으로 하는 등의 특징도 있다.