일반기술

반사광 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어 방법 및 표면 거칠기

본 발명은 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법 및 표면 거칠기 계측용 레이저 광 제어장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법은 레이저를 이용한 피사체의 표면 거칠기 계측에 있어서, 1) 상기 피사체로부터 반사된 정반사광과 난반사광의 각각의 광데이터가 영상 센서에 획득되는 단계 2) 상기 광데이터로부터 상기 피사체의 표면 거칠기를 계측하고, 상기 정반사광의광강도 및 난반사광의확산 정도를 이용하여 계산된 상관 관계를 통하여 상기 각각의 반사광을 블렌딩하는 단계 3) 상기 블렌딩된 반사광의 광강도를 설정기준으로 정규화하는 단계 4) 상기 정규화된 반사광의 광데이터를 레이저 광원이 입력받아 상기 피사체로 입사되는 레이저 광을 제어하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.본 발명은 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법 및 표면 거칠기 계측용 레이저 광 제어장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 영상 정보 피드백을 통한 표면 거칠기 계측시의 레이저 광 제어방법은 레이저를 이용한 피사체의 표면 거칠기 계측에 있어서, 1) 상기 피사체로부터 반사된 정반사광과 난반사광의 각각의 광데이터가 영상 센서에 획득되는 단계 2) 상기 광데이터로부터 상기 피사체의 표면 거칠기를 계측하고, 상기 정반사광의광강도 및 난반사광의확산 정도를 이용하여 계산된 상관 관계를 통하여 상기 각각의 반사광을 블렌딩하는 단계 3) 상기 블렌딩된 반사광의 광강도를 설정기준으로 정규화하는 단계 4) 상기 정규화된 반사광의 광데이터를 레이저 광원이 입력받아 상기 피사체로 입사되는 레이저 광을 제어하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.