일반기술

메탈 페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량 제조 방법

본 발명은 가속도센서 및 진동센서의 질량을 제조하는 질량제조방법에 관한 것으로서, 특히 집적회로공정이나 미세구조공정과는 독립적인 공정으로 수행하여 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이면서도 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴 수 있는 메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다. 기존의 질량의 제조방법이 갖는 결점및 문제점들을 해결하고자 발명된 기술로서 여러가지 장점을 가지고 있는 기술이다.본 발명은 종래 질량의 제조방법이 갖는 결점 및 문제점들을 해결하고자 발명한 것으로, 메탈 페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용하여 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴수 있고, 형성된 질량의 미세편차는 하이브리드 집적회로(hybrid IC)출력단의 저항크기를 트리밍(trmming)할때 완전히 보정되며, 또 집적회로공정이나 미세구조공정과는 독립적으로 수행될 수 있기 때문에 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이며 다량의 질량을 형성할 수 있고 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기 쉬운 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법을 제공함에 그 목적이 있다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 메탈페이스트 디스펜싱방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법은 실리콘웨이퍼를 초기세척한 후 진공증착법으로 Ni박막을 증착하고, Ni박막을 사진식각법과 습식식각으로 패턴을 형성한 후 열처리하여 Ni실리사이드를 형성하며, NH4OH로 Ni산화막을 제거한 다음 Ni박막에 디스펜서(dispenser)를 사용하여 메탈페이스트(metal paste)를 정량 올리고 난후 180∼200 ℃의 온도로 열처리하여 메탈페이스트를 경화시키는 것을 특징으로 한다.