일반기술

선택적인 금속 도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량 제조 방법

본 발명은 가속도센서나 진동센서의 사이즈믹프루프-매스(seismic proof-mass)를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 특히포토레지스트를 이용한 리소그라피(lithography)방법으로 필요부분에만 선택적으로 진동질량을 정량 전기도금하는 선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다. 선택적인 금속 도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량 제조 방법 은 발명기초단계부터 개발에 이르기 까지 여러가지 장점이 있는 기술이다본 발명의 진동질량 제조방법에 의하면 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 용이하게 전기도금할수 있고, 하이브리드 IC(hybrid IC) 출력단의 저항 크기를 트리밍(triming) 할 때 완전히 보정될 수 있는 장점 뿐만 아니라, 질량형성부분의 크기를 리소그라피(lithography)방법으로 정의할 수 있기 때문에 하나의 칩 위에 서로 다른 질량을가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기 편리한 공정상의 장점이 있다. 특히포토레지스트를 이용한 리소그라피(lithography)방법으로 필요부분에만 선택적으로 진동질량을 정량 전기도금하는 선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다.