일반기술

박막합성장치

플라즈마 화학 증착 장치를 이용하여 모재에 박막을 합성하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다중 및 단일 스크린을 이용하여 플라즈마의 밀도를 높이고 균일한 온도제어 및 조절을 통해 대면적 제품에도 균일한 비정질의 탄소계 박막을 합성할 수 있는 박막 합성 장치에 관한 것이다.본 발명은 모재 표면에 박막을 합성하는 장치에 있어서, 상기 모재가 설치되며, 진공도 유지를 위한 진공용기; 상기진공용기와 연결되며, 진공용기 내에 탄소화합물과 수소를 진공용기 내로 공급하는 공급부; 상기 모재가 안치되고 상기 진공용기 내에 설치되며, 중공음극방전을 통해 상기 탄소화합물과 수소기체를 이온화시켜 플라즈마를 발생시키는 스크린; 상기 스크린과 모재에 전원을 공급하는 전원공급부; 상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내의 가스를 배출하는 배출수단; 상기 진공용기와 연결되며, 플라즈마 상태를 진단하는 진단부; 상기 전원공급부와 진단부를 제어하는 제어부;로 구성된 것을 특징으로 한다.박막처리를 함에 있어 보조열원이 필요없고 높은 증착율을 얻을수 있을 뿐만 아니라, 방사선 차폐 및 장비운용 비용을 줄일수 있어 경제적인 효과를 얻을수 있다.본 발명은 모재 표면에 박막을 합성하는 장치에 있어서, 상기 모재가 설치되며, 진공도 유지를 위한 진공용기; 상기진공용기와 연결되며, 진공용기 내에 탄소화합물과 수소를 진공용기 내로 공급하는 공급부; 상기 모재가 안치되고 상기 진공용기 내에 설치되며, 중공음극방전을 통해 상기 탄소화합물과 수소기체를 이온화시켜 플라즈마를 발생시키는 스크린; 상기 스크린과 모재에 전원을 공급하는 전원공급부; 상기 진공용기와 연결되며, 진공용기 내의 가스를 배출하는 배출수단; 상기 진공용기와 연결되며, 플라즈마 상태를 진단하는 진단부; 상기 전원공급부와 진단부를 제어하는 제어부;로 구성된 것을 특징으로 한다.