일반기술
차세대 spin cleaner구동장치
반도체 관련 장비 및 세척공정 기술 개선의 신기술로서장비 사이즈가 기존의 수입품 대비 컴팩트 하고 세정능력이 탁월하며경쟁 기업의 제품대비하여 가격 경쟁력 보유의 기술임가감속도와 speed조절이 자유로이 구현되도록 micom을 내장한 만능 spiner 25steps, 100종류의 program을 저장, 호출할 수 있는 기능 탑재, air barrier 방식의 chuck을 사용하여 work 의 형태에 관계없이 균일한 coating uniformity를 얻을 수 있는 기술적인 특징을 보유함.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2005-05-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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