일반기술

마이크로 시스템의 트리보로지컬 보호막

- 마이크로 시스템의 성능을 향상시키고 내구성 향상을 위하여 일종의 보호막을 형성하는 것이다.- 마이크로 기어와 마이크로 엔진 및 마이크로 모터, 차세대 하드디스크 드라이브 등은 구동부위와 정지 부위에서 접촉이 이루어지며 운동하게 되는데, 이때 접촉부위에서는 마찰, 마모, 응착이 일어나 성능이 저하되며, 수명이 단축된다. 그러나 이 기술(보호막)로 처리하면 이런 문제들이 동시에 처리되어 성능향상과 내구성이 향상된다.- 인가하중이 낮은 상태에서 섭동(주요한 힘의 작용에 의한 운동이 부차적인 힘의 영향으로 교란되어 일어나는 운동)이 이루어지는 부위의 마찰, 마모, 응착을 낮추어 시스템 또는 디바이스의 성능과 내구성을 획기적으로 향상시켜준다.- 보호막은 카본으로 구성되어 있으며 고온 안정성과 전도성을 가지면서 낮은 탄성계수 및 높은 경도를 가지고 이형성을 나타낸다.-사출성형시 몰드에 보호막처리를 하면 이연성을 가져 좋다.-MEMS 분야에서도 많이 적용할 수 있다.