일반기술

초음파력 현미경

UFM은 nanoscale 레벨에서 재료들의 특질인 surface와 대부분 성질이 매우 다른 sub-surface의 고해상도 측정이 가능하다. 탐측기 현미경 검사는 nanoscale 레벨에서 surface의 프로필뿐만 아니라 화학적 구성을 결정하는 것에 매우 효과적이었다. 하지만, 탄력성과 표면의 다른 물리적인 성질에 대한 정확한 측정에 이 기술을 사용하는 것은 불가능했다. 그러나 UFM를 사용하면 기포들에 의해 만들어진 결함들과 칩리드의 소진을 가져오게 할 수 있는 재료들에 있는 함유물들과 틈을 조사할 수 있다.새로운 현미경 검사 기술은 Oleg Kolosov가 말하는 nanoscale 해상력으로 물질의 탄력 있는 특성에 대한 통찰력을 연구원들에게 제공한다.초음파력 현미경(UFM)은 여러 가지 재료들의 이미징하는 nanoscal 해상력이 있는 AFM에 acoustic 현미경 검사 기술 (민감한 탄력성)를 결합시킨 것이다. UFM에서 약간의 MHz 주파수를 가진 고주파 초음파 진동은 MHz의 주파수에서 매우 경직되고 force에 예민한 cantilever의 끝에 자리잡은 고정 AFM tip '톱니모양'자체로 탄력적인 작용을 한다. AFM 팁과 진폭은 약간의 nanometer 정도의 접촉으로 kHz 주파수 범위 내에서 진폭변조 초음파 진동을 탐지하는 다이오드로서 역할을 한다.