일반기술

헬륨-네온 레이저 주파수 안정화/길이측정용 간섭계

레이저를 이용한 길이측정용 간섭계의 광원으로 많이 사용되고 있는 헬륨 네온 레이저의 주파수를 안정화하는 기술과 이 광원을 이용하여 실용적인 길이측정용 간섭계로의 적용을 위한 신호처리 기술이 주 내용이다. 레이저의 주파수는 one-chip CPU를 사용하여 간단한 방법으로 주파수를 제어, 모니터링을 할 수 있다. 여기서 사용한 안정화법은 지만 안정화와 two mode power balance법을 적용하고 있다. 간섭계는 단일 주파수를 사용한 호모다인이나 2 주파수를 사용한 헤테로다인 간섭계에 필요한 신호처리기술이 포함되어 있다.- 최근 나노미터 수준의 정확도를 얻기 위해서는 간섭계에서 발생되는 비선형 오차가 가장 큰 문제가 되는데 이것을 축소하는 방법을 적용하고 있기 때문에 정확도 향상 가능 - 나노측정기 제조업체 및 나노측정기술을 이용하는 가공 및 제조업체에서 활용 하면 시장성이 있다고 판단됨.......................................................................................................................................................