일반기술

접합에스오우아이웨이퍼 제조 방법

본 발명은 접합 SOI 웨이퍼의 평탄도 및 두께 편차를 줄이고 접합된 단결정 실리콘 사이의 결함 발생을 방지하기 위한 것이다. 완성시의 크기보다 큰 원판상의 단결정 실리콘에 각각 산화막을 형성하고 상기 산화막을 서로 접합하여 단결정 실리콘을 접합하는 것이다. 접합된 단결정 실리콘의 상면을 연삭함에 있어서 먼저 그 가장자리를 단일의 곡면으로 연삭처리하면서 완성시의 직경이 되도록 하여 접합 SOI를 제조하는 방법이다.접합에스오우아이웨이퍼 제조 방법인 본 발명은 접합 SOI 웨이퍼의 평탄도 및 두께 편차를 줄이고 접합된 단결정 실리콘 사이의 결함 발생을 방지하기 위한 것이다. 완성시의 크기보다 큰 원판상의 단결정 실리콘에 각각 산화막을 형성하고 상기 산화막을 서로 접합하여 단결정 실리콘을 접합하는 것이다. 접합된 단결정 실리콘의 상면을 연삭함에 있어서 먼저 그 가장자리를 단일의 곡면으로 연삭처리하면서 완성시의 직경이 되도록 하여 접합 SOI를 제조하는 방법으로, 단결정 실리콘 원판을 접합하여 하나의 웨이퍼를 제조하는 접합에스오우아이 웨이퍼 제조방법에 관한 것이다.