일반기술

고체구조의 표면과 표면 부근의 비파괴 분석을 위한 SEM에서의 양적 방법의 개발

프로젝트의 목표는 여러 가지 다양한 신호(전자 빔 유기전류(EBIC), 2차, 후방산란 전자 등)를 이용한 SEM에서의 고체구조의 표면과 표면 부근의 분석을 위한 비파괴 양적 방법을 개발하는데 있다; 신호 모델을 개발, 신호 시뮬레이션과 역 문제를 풀기 위한 소프트웨어의 개발.

기술정보

기술분류
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
보유기관
특허법인충정
기술유형
일반기술
등록일
2000-04-24
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

정보 없음

관련 특허

등록된 관련 특허가 없습니다.