일반기술
고체구조의 표면과 표면 부근의 비파괴 분석을 위한 SEM에서의 양적 방법의 개발
프로젝트의 목표는 여러 가지 다양한 신호(전자 빔 유기전류(EBIC), 2차, 후방산란 전자 등)를 이용한 SEM에서의 고체구조의 표면과 표면 부근의 분석을 위한 비파괴 양적 방법을 개발하는데 있다; 신호 모델을 개발, 신호 시뮬레이션과 역 문제를 풀기 위한 소프트웨어의 개발.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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