일반기술

유리의 마이크로머시닝 기술

유리를 마이크로 머시닝 할 수 있는 기술로국내에서 발견된 원천기술로 세계 최정밀 마이크로머시닝 기술임.화학적식각으로 1mm 이상의 두께를 지니는 유리에 70um이하의 사이즈를 지니는 미소홀이나 채널을 임의로 형성하는 것이 가능함.포토리소그라피 공정에 기반하므로 이차원적으로 그릴 수 있는 모양은 거의 다 구현하는 것이 가능함.MRS(보스톤), HARMST(미국 샌디아연구소) 등에서 개최된 국제학회 및 전시회에 7차례 정도 발표되었으며, 최근에 일본에서도 당사 기술보다 수준이 크게 떨어지는 가공기술에 대해서도 신문에 크게 난바 있음- 잉크젯헤드, FED용 핵심부품, PDP용 레이져 마스크, 마이크로렌즈- 가속도 센서, 가스센서 등의 센서용 부품- 마이크로 필터(의료, 화학)- 마이크로머신(마이크로기어 등)- 전자패키징(표면탄성파 필터, LED용 필터)- 다층 세라믹 기판 등등발표된 바로는 세계최정밀의 포토리소그라피 기반 마이크로머시닝 기술임. 차세대 고부가소자용의 핵심기술로 이용될 수 있으며, 기반이 되는 원천기술임.현재 유럽 및 미국을 중심으로는 바이오, 화학, 정보통신 등으로 폭넓게 이용되고 있으며,일본의 호야같은 업체는 원소재를 생산한 바 있으나 RF기판 등으로 활용하기 위하여 외부생산을 금지시킬 정도로 중요한 물질임.디스플레이, 반도체 등의 분야에서 다양한 적용분야가 있으며, 현재 일본 등의 업체에서 cowork을 요청받고 있음.