일반기술

전계방출디스플레이 양극판용 산화가돌리움계 적색 형광막및 그의 제조방법

본 발명의 목적은 분말 형광체 페이스트 도포방법에서 형광체와 기판과의 낮은 접착성과 장시간 사용시 분출하는 가스 문제(degassing)를 해결함과 동시에 저전압 음극선 발광 효율이 Y 2 O 3 :Eu 3+ 계 적색 형광막보다 월등하게 우수한 FED 양극판용 Gd 2 O 3 :Eu 3+ 계 적색 형광막 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다.즉, 본 발명은 Gd 2 O 3 :Eu 3+ 을 레이져 증착법(Pulsed Laser Deposition(PLD)법)을 이용하여 투명한 석영유리(Quartz glass) 또는 ITO 기판 위에 얇게 증착시켜 전자총 또는 자외선 영역에서 발광 효율이 뛰어나며 안정한 물성을 갖는 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display: FED) 양극판용 적색 형광막 및 그의 제조방법을 제공한다.본 발명은 Gd 2 O 3 :Eu 3+ 을 레이져 증착법(PLD)을 이용하여 투명한 석영유리 또는 ITO 기판 위에 얇게 증착시켜 저전압 음극선 또는 자외선 영역에서 발광 효율이 뛰어나며 안정한 물성을 갖는 FED 양극판용 적색 형광막 및 그의 제조방법에 관한 것이다.본 발명은 형광체의 모체인 산화가돌리움에 부활제로 산화유로피움을 몰비로 0.12 내지 0.15 범위로 도핑하여 원료 타겟을 제조하는 단계와, 상기 원료 타겟을 100~150mtorr 범위의 산소분압하에서 레이져로 조사하여 타겟 표면에서 분리되는 미세한 원료입자들을 타겟 근처에 설치된 석영유리 또는 ITO 기판에 하기 화학식 1로 표시되는 적색 형광막을 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(화학식 1)Gd 2-a O 3 :aEu단, 상기 화학식 1에서 0.01≤a≤0.15 이다.